全自动制绒酸洗综合设备
详细说明
产品特点:
3200片(125*125、156*156)/小时超大产能。
采用第四代最新全自动配液、补液技术,全面完善的防酸、防腐措施,保护到机器的每一个角落。
最新全自动补液技术。
独特的硅片干燥处理技术,保证guip干燥不留任何水痕。
成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术于一身。
彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置及多工艺方式转换。
高速移载机械手采用松下伺服程序控制,具有高速、防压、自动归正,四点稳定抓取,带钩抱蓝等特点。
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